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Article光譜共焦傳感器廣泛保障多項(xiàng)測(cè)量任務(wù)
更新時(shí)間:2017-12-08 點(diǎn)擊次數(shù):1723次
光譜共焦傳感器廣泛保障多項(xiàng)測(cè)量任務(wù)
光譜共焦傳感器,適用于非接觸式厚度測(cè)量,即便材料的一面不透明。憑借著較大的測(cè)量范圍(18?m至3000?m),該傳感器可廣泛應(yīng)用于晶片、太陽(yáng)能電池和塑料產(chǎn)品的質(zhì)量保障和生產(chǎn)中的多項(xiàng)測(cè)量任務(wù)。光譜共焦傳感器不同尋常的高動(dòng)態(tài)性能和的信噪比可以確保具有不同反射強(qiáng)度的表面上*的測(cè)量結(jié)果。
光譜共焦傳感器原理構(gòu)造解釋說(shuō)明:
1.一束白光穿過(guò)小孔S,照射在色散鏡頭組L上。色散鏡頭組把白光分解成不同波長(zhǎng)的單色光,每一個(gè)波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)一個(gè)固定的距離值。
2.當(dāng)對(duì)象出現(xiàn)在測(cè)量區(qū)域的時(shí)候,一個(gè)特定波長(zhǎng)的單色光正好照射在其表面,并且反射進(jìn)光學(xué)系統(tǒng)。
3.此反射光通過(guò)一個(gè)小孔S,,(只有聚焦在被測(cè)體表面的光才可以穿過(guò)這個(gè)小孔),由波長(zhǎng)識(shí)別系統(tǒng)(光譜儀)識(shí)別其波長(zhǎng),從而得到其所代表的距離值。
4.由光源射出一束寬光譜的復(fù)色光(呈白色),通過(guò)色散鏡頭發(fā)生光譜色散,形成不同波長(zhǎng)的單色光。每一個(gè)波長(zhǎng)的焦點(diǎn)都對(duì)應(yīng)一個(gè)距離值。測(cè)量光射到物體表面被反射回來(lái),只有滿足共焦條件的單色光,可以通過(guò)小孔被光譜儀感測(cè)到。通過(guò)計(jì)算被感測(cè)到的焦點(diǎn)的波長(zhǎng),換算獲得距離值。